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Rlq,Rdc,RHSC,Rmr,Rz-L,Rp-L,R3z-L,Rdc-L,RMr-L,Pdc-L,PMr-L
ºËÐÄ´Ö²Ú¶È: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo
PÂÖÀª²ÎÊý£ºPa,Pq,Pt,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Plq,Pdc,PHSC,PPc,PMr,
W²¨¶ÈÂÖÀª²ÎÊý£ºWa,Wq,Wt,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdg,Wdc,WMr
Motif²ÎÊý£ºR,Ar,W,Aw,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL
ISO5436²ÎÊý£ºPt,D
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·Ö±æÂÊ£º0.01um£»
Ö±Ïß¶È£º2um/200mm
²âÁ¿ËÙ¶È£º0.1¡«5mm/s£»
ÒÆ¶¯ËÙ¶È£º0¡«30mm/s
£¨2£©´«¸ÐÆ÷Z1Ö᣺
²âÁ¿·¶Î§£º±25mm£»
ʾֵÎó²î£º±(1.6+|2H|/100)um£¬ÆäÖÐHΪ´¹Ö±²âÁ¿¸ß¶È£¬µ¥Î»£ºmm£»
·Ö±æÂÊ£º0.01um£»
£¨3£©ZÖ᣺
²âÁ¿·¶Î§£º0¡«450mm£»
ÒÆ¶¯ËÙ¶È£º0¡«30mm/s£»
(5) ²âÁ¿Á¦£º10¡«150mN£»
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