SJ6000激光干涉仪荣获2020年中国仪器仪表学会科技进步二等奖

 12月24日，中国仪器仪表学会“科学技术奖”颁奖仪式在杭州举行，中图仪器申报的“基于热稳频控制的高精度多参量激光干涉仪研制与产业化”项目荣获2020年中国仪器仪表学会科技进步二等奖。



       

中国仪器仪表学会科学技术奖是经国家科技部批准，在国家科技奖励主管部门注册，经国家科学技术奖励工作办公室颁证，由中国仪器仪表学会设立的面向全国仪器仪表领域的综合性奖项，表彰在仪器仪表科技工作中做出突出贡献的单位和个人，鼓励自主创新、团结协作，促进科学研究、技术开发与社会发展密切结合，促进科技成果转化，提高我国仪器仪表的综合实力和水平。

本项目SJ6000激光干涉仪具有完整的自主知识产权，稳频精度≤0.04ppm，测量精度0.5ppm,*大测量距离80米。

SJ6000激光干涉仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等多几何参量的高精密测量，用于检测数控机床、自动化设备、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等，以及进行数控机床、三坐标测量机的精度补偿。

SJ6000激光干涉仪满足了我国各级计量院所、高端精密加工制造、先进数控机床、精密仪器等领域在高精度和大量程长度测量方面的需求，提升了我国自主的高精密激光测量水平和高端计量检定装备的水平。

不忘铸器初心，牢记图强使命，中图仪器持续投资研发ji小和超da尺寸的ODS超精密光学仪器，为3C电子、泛半导体业和大型装备制造业提供自主可控的关键技术设备。